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基础学院真空室系统、真空获得系统🧑🏿🎨、真空测量系统等采购项目
招标文件
项目名称：基础学院真空室系统、真空获得系统👩🏿🍳👩🏻🍳、
真空测量系统等采购项目
招标方🧑🏿🦱：杏悦2平台资保处
2012年4月11日
招标文件
招标项目名称：基础学院真空室系统、真空获得系统、真空测量系统等采购项目
发标时间：2012年4月11日星期三
一、 投标邀请
招标方式：
受用户委托和对采购项目的要求🚶🏻♂️🙇🏼，本职能处室对基础学院真空室系统♾、真空获得系统👨🏼🦱、真空测量系统等采购项目进行公开招标。具体技术参数见附件。
兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标，标书一式二份🧑💼，用单独的信封密封💠，并在信封上标明投标单位及投标项目名称🐮，为确保标书的时效性和可行性，以专人送达为宜。
1． 投标地点：杏悦2平台资保处物资供应杏悦2（行政楼B113室）
2． 投标截止时间：2012年4月17日16：30，逾期收到或不符合规定的投标文件不予接受。
3． 开标时间和地点：2012年4月18日，采取公开开、评标🌬👳🏿，地点👩❤️👩：校资保处。
4． 开🤳🏽、评标结果由资保处具体人员通知投标单位。
5． 凡需对本次招标提出咨询的供应商🧑🔬，请在2012年4月17日前与资保处物资供应杏悦2联系。
6． 本招标方地址：上海市龙腾路333号 邮编：201620
7． 联系人：高 丹 电话：67791017
具体参数如下🧑🏻🔧：
一 👗、真空室系统 1套
圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm🥂，电动上掀盖结构🆒😌，可内烘烤100～150℃，选用优质不锈钢材料制造🐦，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理🏄🏼♀️，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1 、RF100法兰接口：1个（观察窗口）；
1.2 🙏🏻🧑🏼🚒、RF63法兰接口：1个（观察窗口）；
1.3 、RF10法兰接口：3个（2路进气管路、放气阀）；
1.4 、CF150法兰接口🫧：1个（接分子泵）👩🏼🦲；
1.5 、CF100法兰接口🔔：3个（磁控溅射靶接口）
1.6 、CF35法兰接口：6个(接电离规管、旁抽口👩🏼🔬👾、陶封引线2个、备用2个)；
1.7 🙎🏽♂️🙉、CF25法兰接口：1个（基片挡板）；
1.8 、CF16法兰接口：1个（备用）🤼♀️；
1.9 、ZC16法兰接口🐰🕴🏼：1个(接ZC16热偶规管)🙇🏻♀️；
2 、磁控溅射靶组件 3套
2.1 🤽🏿、靶材尺寸☄️：Φ60mm（其中一个可以溅射磁性材料）👨🏼🎓；
2.2 🤍、永磁靶👷🏽♂️：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷；
2.3 👨🏿💼、电动控制挡板组件：1套；
2.4 🤲、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)；
2.5 、三个靶可共同折向上面的样品杏悦2，靶与样品距离90～110mm可调；当直接向上溅射时，靶与样品距离40～80mm可调，并有调位距离指示🛀🏽。
3 👊🏻、单基片水冷加热台组件 1套
3.1 、基片尺寸：可放置30mm基片；
3.2 、基片加热最高温度 800°C±1°C，由热电偶闭环反馈控制；
3.3 、取下加热炉可以换上水冷基片台；
3.4 、基片可连续回转🐴🧑⚖️，转速5～10转/分；
3.5 、基片可以加负偏压-200V📂⛹🏿；
3.6 📪🖐🏽、手动控制样品挡板组件：1套🍛👨🏻🦳；
3.7 🩰、样品托：2个👔；
4 💂♀️、窗口及法兰接口部件 1套
4.1👩🏻🦳、RF100玻璃窗口🧑✈️：1块；RF63玻璃窗口：1块；
4.2🥤👸🏻、CF35陶瓷封接引线法兰：2个（照明及内烘烤引线）🏄🏼♂️；
4.3、盲法兰CF16：1个；CF35：2个👩🏽🎤；
5 👮🏼♀️、工作气路 1套
5.1 ✴️、200SCCM、100SCCM质量流量控制器（北京）、DG16角阀、进气截止阀🦄、混气室、管路、接头等：共3路
5.2 、DG16角阀、管路、接头等：1路（解除真空冲氮气）；
二、真空获得系统 1套
极限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率🙎🏼♀️：≤5.0x10-7 Pa.l/S；
系统从大气开始抽气🏂🏼👩❤️💋👩，40分钟可达到6.6x10-4 Pa；
停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa👩🏿🔬；
1.1 、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速600升/秒，北京）🧑🏽🎨🤶🏿；
1.2 、直联机械泵：1台（抽速8升/秒👨🏽🎨，上海）；
1.3 👨🏻💻、KF40电磁隔断放气阀💡：1台（上海）；
1.4 、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 ；
1.5 、机械泵与真空室之间的旁抽管路🦹🏻♀️、电磁截止阀及角阀门：1套 ；
1.6 、CF150-B闸板阀🧑🏿🍳：1台（用于分子泵与真空室隔离）；
2🧜♂️、安装机台架组件 1套
优质方钢型材（50mmX50mmX4mm）焊接成，快卸围板表面喷塑处理🧚♂️；机台表面用不锈钢蒙皮装饰🚶♀️➡️；四只脚轮，可固定，可移动；
三、电器控制软硬件系统 1套
1.1 、电源机柜💆🏼♂️：1台；
1.2 𓀑🫑、总控制电源：1台（为分子泵、机械泵、电磁阀、升降电机🤦🏽👄、真空计等提供电源， 有断电保护功能）；
1.3 🌆、水流报警系统👦：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）🤙🏿；
1.4 👮♀️、样品加热控温电源：1套（日本产控温表🏂🏼，可实现程序控温）🥐🙋🏽；
1.5 👨🏼🦱、步进电机旋转电源⛷：1套；
1.6 、靶挡板电源：3套📳👨❤️👨；
1.7 👩🏿🎨、加热烘烤及照明电源：1套；
1.8 🧑🏻🍼、分子泵控制电源💪🏿：1套👲🏻；
1.9、500W射频电源：1套；（沈阳）
1.10👂🏿、500W直流电源：2套；
1.11、-200V直流偏压电源🧔：1套；
2、配件 1套
2.1 🦥、￠6mm不锈钢管：6m；
2.2 👊🏻、电动升降装置：1套；
3🍺、备件 1套
3.1 、无氧铜密封垫圈及管路
CF16：3个🏋🏿♀️；CF35👩🏻🦰：3个💫； CF100🧚🏽♂️：2个；CF150：2个🗯💢；
￠6mm卡套：4套🕴🏼；
3.2 👰🏽♀️、氟橡胶密封圈🍈：￠100mm🦅⏯：1个；￠63mm🙆♂️：1个、动密封胶圈3个㊗️；
3.3 、碘钨灯🩰：5个；
3.4 👍🏿、样品加热丝：1套👂🏼；
3.5 🐻❄️、￠100mm玻璃📌：1块🙎🏼♂️；￠63mm玻璃🚍：1块；
3.6 、小型不锈钢标件👹：M3、M4各3个✅🥉；
3.7 👳🏼♀️、电器相关的保险丝：各10个🏺。
4👨🏿💼、计算机控制系统 1套
由硬件卡、软件组成（计算机用户自备）；
控制的内容主要有靶挡板、样品自转、样品挡板、样品控温等⛎；
5🧑🏿🦲、工艺
表面化学抛光，喷砂处理。
四、真空测量系统 1套
1.1 、宽量程数显真空计（成都）：1套👆🏿；
热偶规：1路（1.0x105Pa～1.0x10-1Pa）；
电离规🗃🧑🏻🎓：1路（1.0x10-1Pa～1.0x10-5Pa）；
1.2 🥿🧚🏼、200SCCM👛、100SCCM质量流量显示器：1套；